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同茂直線電機(jī)HPL高精密直線平臺(tái)

時(shí)間：2017/3/9 點(diǎn)擊數(shù)：8438

同茂直線電機(jī)自主研發(fā)生產(chǎn)的高精密直線電機(jī)平臺(tái)采用同茂電機(jī)的無(wú)鐵芯U型槽直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)，平臺(tái)行程從100至600mm，平臺(tái)采用進(jìn)口7075#航空鋁經(jīng)一體化加工成型，同時(shí)減少因?qū)к壓弯X主題不同的熱膨脹系數(shù)引起的折彎效應(yīng)；平臺(tái)集成具有較好的線性表現(xiàn)的開放或增量光柵系統(tǒng)，可以提供亞納米級(jí)的分辨率、重復(fù)性和穩(wěn)定性。

穩(wěn)定的光學(xué)零位，保障雙向回零的重復(fù)性和可靠性。經(jīng)激光干涉儀標(biāo)定補(bǔ)償，可以輕易獲得理想的定位精度，定位精度高達(dá)±1μm(Travel≤200mm)。

同茂直線電機(jī)輕松實(shí)現(xiàn)您對(duì)于高精密定位的要求，高精密直線電機(jī)平臺(tái)需要優(yōu)良的設(shè)計(jì)，嚴(yán)苛的軸系裝配工藝，具有較高性能,這使得HPL-LM系列直驅(qū)平臺(tái)得以廣泛適用于需要成本效益、精密解決方案的工業(yè)應(yīng)用，如半導(dǎo)體晶圓檢測(cè)、微電子組件測(cè)試、取放、DNA測(cè)序、激光加工等領(lǐng)域。

同茂直線電機(jī)HPL高精密直線平臺(tái)