昆山同茂自主研發(fā)生產(chǎn)的XYZ HPL/SPL高精密
直線電機(jī)平臺(tái)行程達(dá)到100mm-600mm，定位精度高達(dá)（直線誤差修正后）：±1μm（Travel≤200mm），穩(wěn)定且優(yōu)良的軸系提供了較好的平滑運(yùn)動(dòng)，經(jīng)算法優(yōu)化可以獲得極小的動(dòng)態(tài)跟隨誤差。
突出表現(xiàn)：
一、線性表現(xiàn)優(yōu)良的光柵反饋系統(tǒng)，可以獲得較好的point-to-point位置精度以及亞微米級(jí)的重復(fù)性。
二、標(biāo)準(zhǔn)的模塊化設(shè)計(jì)，靈活的單軸/多軸解決方案。整體密封結(jié)構(gòu)，輕量化、高剛性結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，低成本，高性能。
三、HPL
直線電機(jī)平臺(tái)采用進(jìn)口無(wú)鐵芯直線電機(jī)
驅(qū)動(dòng)，平臺(tái)行程從100至600mm。該平臺(tái)擁有優(yōu)良的設(shè)計(jì)，嚴(yán)苛的軸系裝配工藝，具有較高性能，但成本低，這使得HPL系列直線電機(jī)平臺(tái)得以廣泛適用于需要成本效益、精密解決方案的工業(yè)應(yīng)用，如半導(dǎo)體晶圓檢測(cè)、微電子組件測(cè)試、取放、DNA測(cè)序、激光加工等領(lǐng)域。
四、HPL
直線電機(jī)平臺(tái)采用進(jìn)口7075#航空鋁經(jīng)一體化加工成型，同時(shí)減少因?qū)к壓弯X主體不同的熱膨脹系數(shù)引起的折彎效應(yīng)。導(dǎo)軌對(duì)稱(chēng)分布在基座兩側(cè)，減少兩種不同金屬熱膨脹帶來(lái)的影響，同時(shí)高剛性的基座將負(fù)載情況下的偏轉(zhuǎn)、滾擺降到較小。
五、導(dǎo)軌鋼球通過(guò)與球保持器配合使用，沿經(jīng)精密研磨加工而成的4列滾動(dòng)面進(jìn)行滾動(dòng)，實(shí)現(xiàn)了4方向等負(fù)荷、低重心、高剛性、高精度、平滑穩(wěn)定的直線運(yùn)動(dòng)，出色的負(fù)載能力、長(zhǎng)壽命、低的噪音。
此外，HPL XYZ高精密平臺(tái)由于采用標(biāo)準(zhǔn)平臺(tái)進(jìn)行疊加組合應(yīng)用，因此可以根據(jù)實(shí)際需要分別對(duì)行程、負(fù)載、定位精度、雙向重復(fù)定位精度進(jìn)行選擇，可選范圍寬、組合靈活、成本低等特點(diǎn)，是一款模塊化的直驅(qū)產(chǎn)品使用化的平臺(tái)。
直線電機(jī)