隨著半導(dǎo)體行業(yè)的蓬勃發(fā)展，越來越需要穩(wěn)定的結(jié)構(gòu)形式來滿足。
直線電機(jī)的出現(xiàn)先解決了老式的伺服電機(jī)絲杠的結(jié)構(gòu)形式中的速度以及精度問題。而更高的動(dòng)態(tài)響應(yīng)特征以及更具效能的電機(jī)設(shè)計(jì)都將對(duì)
直線電機(jī)的要求越來越高。
常用的直線電機(jī)類型是平板式直線電機(jī)、U型槽式直線電機(jī)和圓柱型直線電機(jī)。圓柱型直線電機(jī)即音圈電機(jī)。
音圈電機(jī)具有：結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、反應(yīng)速度快、靈敏度高、隨動(dòng)性好、密封性好、不怕污染、適應(yīng)性強(qiáng)、工作穩(wěn)定可靠、壽命長(zhǎng)等優(yōu)點(diǎn)，因而在半導(dǎo)體相關(guān)裝置等產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域，廣泛的使用此類電機(jī)。音圈電機(jī)的應(yīng)用市場(chǎng)前景十分廣闊。本文同茂直線電機(jī)帶你認(rèn)識(shí)半導(dǎo)體領(lǐng)域的
音圈電機(jī)應(yīng)用。
貼片中應(yīng)用
音圈電機(jī)在貼片流程中需要完成的動(dòng)作主要有三個(gè)部分：拾取、旋轉(zhuǎn)和放置。拾取和旋轉(zhuǎn)動(dòng)作僅僅需要對(duì)運(yùn)動(dòng)目標(biāo)位置有要求，音圈電機(jī)的拾取、旋轉(zhuǎn)兩個(gè)動(dòng)作均為重復(fù)運(yùn)動(dòng)。芯片放置是整個(gè)貼片流程中關(guān)鍵的一個(gè)環(huán)節(jié)。為確保貼片的可靠性，該環(huán)節(jié)不僅需要高精度的位置控制，還需要對(duì)音圈電機(jī)直線軸的輸出力進(jìn)行控制，即力/位混合控制。具體到音圈電機(jī)的控制方式上，即如何可靠、效率高地實(shí)現(xiàn)
音圈電機(jī)的軟著陸。，后者能有效地實(shí)現(xiàn)音圈電機(jī)軟著陸控制，并在參數(shù)整定、程序編寫及運(yùn)動(dòng)軌跡觀測(cè)等方面相對(duì)前者更有優(yōu)勢(shì)。
引線連接器
與半導(dǎo)體制造裝置有關(guān)的引線連接器的裝置，一般都在Z軸機(jī)構(gòu)和XY工作臺(tái)機(jī)構(gòu)上使用。Z軸機(jī)構(gòu)，是相對(duì)于XY工作臺(tái)上的IC芯片，用金屬線連接電極與引線架而上下運(yùn)動(dòng)的機(jī)構(gòu)。XY工作臺(tái)機(jī)構(gòu)是由于連接位置改變，使放置IC芯片電極與引線架的工作臺(tái)移動(dòng)的機(jī)構(gòu)。
有效緩沖器
為確保半導(dǎo)體相關(guān)裝置中的加工精度，對(duì)裝置所安放地基的振動(dòng)以及設(shè)在裝置上的驅(qū)動(dòng)機(jī)器產(chǎn)生的振動(dòng)得予以抑制。原來是用彈簧和流體進(jìn)行被動(dòng)的或主動(dòng)的振動(dòng)抑制，由于
音圈電機(jī)的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，響應(yīng)性好等特點(diǎn)，而且對(duì)檢測(cè)的振動(dòng)能實(shí)現(xiàn)抵消作用的操作。這一有效減振器非常適用，由此而得到積極的推廣。
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