光刻技術(shù)是指在光照作用下，借助光致抗蝕劑（又名光刻膠）將掩膜版上的圖形轉(zhuǎn)移到基片上的技術(shù)。其主要過(guò)程為：首先紫外光通過(guò)掩膜版照射到附有一層光刻膠薄膜的基片表面，引起曝光區(qū)域的光刻膠發(fā)生化學(xué)反應(yīng)；再通過(guò)顯影技術(shù)溶解去除曝光區(qū)域或未曝光區(qū)域的光刻膠（前者稱正性光刻膠，后者稱負(fù)性光刻膠），使掩膜版上的圖形被復(fù)制到光刻膠薄膜上；然后利用刻蝕技術(shù)將圖形轉(zhuǎn)移到基片上。
隨著社會(huì)的發(fā)展，各種假冒偽劣產(chǎn)品越來(lái)越多，防偽技術(shù)顯得尤其重要。精密光刻系統(tǒng)主要用于假冒偽劣產(chǎn)品的防偽處理。它對(duì)光刻機(jī)的定位精度提出了更高的要求。
傳統(tǒng)的電機(jī)再加上一套變換機(jī)構(gòu)與組成的
直線運(yùn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)裝置已經(jīng)不能滿足現(xiàn)代控制系統(tǒng)的要求。另一方面，由于直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)的位移機(jī)構(gòu)在快速響應(yīng)能力和精度等方面都有著普通驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)難以匹敵的優(yōu)勢(shì)，因此
直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)的精密光刻系統(tǒng)得到廣泛應(yīng)用。
直線電機(jī)與傳統(tǒng)電機(jī)相比的幾個(gè)優(yōu)點(diǎn)：一是結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，由于直線電機(jī)不需要把旋轉(zhuǎn)變成直線運(yùn)動(dòng)的附加裝置，因而使得系統(tǒng)本身的結(jié)構(gòu)大為簡(jiǎn)化，重量和體積大大地下降；二是定位精度高，在需要直線運(yùn)動(dòng)的地方，直線電機(jī)可以實(shí)現(xiàn)直接傳動(dòng)，因而可以消除中間環(huán)節(jié)所帶來(lái)的各種定位誤差，故定位精度高，如采用微機(jī)控制，則還可以大大地提高整個(gè)系統(tǒng)的定位精度；三是反應(yīng)速度快、靈敏度高，隨動(dòng)性好。
直線電機(jī)容易做到其動(dòng)子用磁懸浮支撐，因而使得動(dòng)子和定子之間始終保持氣隙而不接觸，這就消除了定、動(dòng)子間的接觸摩擦阻力，因而大大地提高了系統(tǒng)的靈敏度、快速性和隨動(dòng)性；四是工作可靠、壽命長(zhǎng)。
直線電機(jī)可以實(shí)現(xiàn)無(wú)接觸傳遞力，機(jī)械摩擦損耗幾乎為零，所以故障少，免維修，因而工作可靠、壽命長(zhǎng)。
直線電機(jī)使用的光柵尺分辨率可達(dá)到0.1μm，不僅提高了光刻的速度，而且使光刻的精度達(dá)到很大提高。由于直線電機(jī)的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、反應(yīng)速度快、靈敏度高、隨動(dòng)性好、密封性好、不怕污染、適應(yīng)性強(qiáng)、工作穩(wěn)定可靠、壽命長(zhǎng)等優(yōu)點(diǎn)，使它在工業(yè)生產(chǎn)中的應(yīng)用越來(lái)越廣。
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